Leírás | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (légcsapágysín) |
Motor típusa | Háromfázisú vasmentes motor | Hangtekercs motor+ |
Felbontás | Alapértelmezett 100 nm-es digitális mennyiség | 1vpp 5nm-ig |
Motor tolóerő | Folyamatos 60N/csúcs 210N | Folyamatos 60N/csúcs 210N |
Minimális lépésméret [nm] | 200 nm | 100 nm |
Utazás [mm] | 200×200 | 10 |
Ismételhetőség [um] | ±0,3 | |
Pozíciópontosság [um] | ±1 | ±0,5 |
Laposság [um] | 10um | 5um |
Egyenesség [um] | 1 um | 1 um |
Maximális sebesség [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
Terhelhetőség [kg] | 5 kg (Z tengely pneumatikus állandó erőkiegyenlítő súllyal) |